高真空脱气机组，采用高真空机械泵，快速到达需要高真空。配套真空腔体，真空腔体，按照客户需要配套设计。
本系统主要有真空机械泵、分子泵、真空测量规、真空阀门和机架组成。
本系统为预抽高真空系统，极限真空5.0E -5Pa.主要特点，更换工件或充气的情况下无需停止系统，可多工位同时预抽。
主要用途：镀膜机真空系统，可去除机架，灵活安装。
真空炉真空系统
激光管多工位预抽真空系统
太阳能多工位预抽真空系统
半导体多工位预抽真空系统
优 点：可实现半自动电脑程式控制；启动时间短、噪音低、***。带有暴大气预警系统，体积小，机架带有脚轮移动灵活方便，可根据客户需要做成多种外形以便用于不同工作场地。管道连接件也可根据客户需要制作成多种大小不一、连接方式多样化满足多种真空系统所需。
注：可来样订制，或说明所需外型、带抽工件情况、工作场地情况等一对一***订制。
