专用真空系统可按客户需要设计与制作，系统可以是分子泵、扩散泵、机械泵等真空机组，也可带有真空腔体，真空腔体可以是客户***厂家或有我公司生产。可采用国外真空设备匹配真空系统。
应用领域：
分析仪器、电子显微镜、检漏仪、显像管领域、镀膜行业、电子束焊接设备、激光管多工位预抽真空系统、太阳能多工位预抽真空系统、半导体多工位预抽真空系统、食品、医疗、ITO生产线、OLEO生产线、高能物理、表面物理、空间研究等领域。
特点：
※可多工位同时预抽，各工位独立控制。
※更换工件或充气的情况下无需停止系统。
※高可靠性，免维护的陶瓷轴承无油，***；平均无故障时间大大增加。
※启动时间短、噪音低、体积小。
※带有暴大气预警系统，系统工作时突然暴露大气分子泵自动停止工作，并发出警报。
※机架带有脚轮移动灵活方便，可根据客户需要做成多种外形以便用于不同工作场地。
※管道连接件也可根据客户需要制作成多种大小不一、连接方式多样化满足多种真空系统所需。
技术参数
型号 | ZWF-110 | ZWF-620 | ZWF-1600 | ZWF-3600 |
| 极限压力（Pa） | ≤6.0×10-6 | ≤3.0×10-6 | ≤3.0×10-6 | ≤6.0×10-6 |
| 抽气速率（L/S） | 110 | 620 | 1600 | 3600 |
| 启动时间（min） | ＜2 | ＜5 | ＜8 | ＜18 |
| 连接方式 | CF、LF、KF等可匹配连接标准 | |||
| 真空显示系统 | 数显真空计，可与PC机连接，分段点控（订购需特殊说明） | |||
| 电源电压（V） | 220 | 380 | 380 | 380 |
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 噪音（dB） | 52 | 56 | 60 | 60 |
| 重量(kg) | ~80 | ~140 | ~180 | ~260 |
| 外型 | 金属外壳，可移动带锁脚轮 | |||
